Entwicklung innovativer optischer Messkonzepte für die Wafer- und Maskeninspektion sowie Maskenmetrologie. Modellierung und Optimierung von hochleistungsfähigen optischen Systemen (z.B. Beleuchtungen, High- Performance Mikroskop-Objektive, DUV/VUV-Systeme). Technische Zusammenarbeit mit Experten unserer globalen...